1、每個程序在加工前,都要嚴格確認刀具與程序是否一致。
2、裝刀時要確認刀具的長度和所選的刀頭是否合適。
3、機器運行過程中不要開門,以免飛刀或飛散工件。
4、如果在加工過程中發現刀具,操作者必須立即停止,例如按下“緊急停止”按鈕或“復位按鈕”按鈕或將“進給速度”調為零。 超精密零件加工方法的特點是對去除或添加的表面材料量進行極其精細的控制。但是,要想獲得超精密零件加工的精度,仍然依靠精密的加工設備和精確的約束系統,并以超精密掩模為中介。
例如超大規模集成電路的制版,通過電子束對掩模上的光刻膠(見光刻)進行曝光,使光刻膠的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解),然后聚合或未聚合的部分用顯影劑溶解以形成掩模。電子束曝光制版需要臺面定位精度為±0.01μm的超精密加工設備。
超精密零件切割
主要有超精密車削、鏡面磨削和磨削。微車削是在超精密車床上用精細拋光的單晶金剛石車刀進行的。切割厚度僅為1微米左右。常用于高精度、高外觀的有色金屬材料球面、非球面和平面鏡的加工。成分。例如,用于加工核聚變裝置的直徑為800mm的非球面鏡,其最大精度為0.1μm,外觀粗糙度為0.05μm。
超精密零件特殊加工
超精密零件加工精度為納米級,即使以原子單位(原子晶格間距為0.1-0.2納米)為目標,也無法適應超精密零件切割方法,需要使用特殊精密零件加工方法,即應用化學。
能量、電化學能、熱能或電能,使能量超過原子間的接合能,從而消除工件某些外部零件之間的粘附、接合或晶格變形,達到超精密加工的目的. 這些工藝包括機械化學拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝光、激光束加工、金屬蒸發和分子束外延。